SEMOZON? AX8415 是 MKS 開發的 很具創新性和多功能性的臭氧發生器。該發生器的新穎結構和 電池設計可產生超清潔、高濃度、高流量的臭氧，將氧氣轉化為 >400 g/Nm3 的高濃度臭氧，用于半導體、平板顯示器和光伏行業的前沿應用。
在 5°C @ 2.5 slm 時臭氧濃度高達 425 g/Nm3 或 27.1 wt%
從 2.5 slm 到 50 slm 的 O2 流量可實現工藝靈活性
獲得 的電池設計可產生高濃度臭氧
在添加或不添加氮氣的情況下運行
閉環操作可實現更嚴格的過程控制
直接替代MKS SEMOZON AX8407臭氧發生器
規格
類型：臭氧氣體發生器
臭氧輸出：高達 425 g/Nm 3
流量：2.5 - 50 slm
原料氣氧氣：6 級或更好的 O2
氮氣（可選）：100 ppm 5 級或更好的 N2
環境溫度：10 - 40°C (50 - 104°F)
標稱電池壓力（交付）：15 - 45 磅/平方英寸（100 - 310 千帕）
壓力：將過程壓力保持在 20 - 50 psig
控制接口：前面板控制和遠程操作
冷卻水溫度：5 - 25°C (41 - 77°F)
冷卻水過濾：100微米
冷卻水質量：電阻率 ≥ 50 kΩ/cm
很小水流量：9.4 升（2.5 加侖/分）
電壓要求：208 VAC (±10%) 3? 和 GND，無中性線
當前要求：20安培
頻率：50/60 赫茲
重量：46.3 公斤
尺寸：483 x 445 x 267 毫米
遵守：CE、半 S2-0302、半 F47、UL 61010-1、CAN/CSA-61010-1
SEMOZON AX8415 中設計的技術是該發生器多功能性的基礎。臭氧被電子工業用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應用。AX8415 能夠通過產生 很高濃度的超潔凈臭氧來支持所有這些應用，無論是否添加氮作為摻雜劑氣體。如果給定應用需要，去除臭氧形成過程中使用的微量氮可消除 NOx 化合物的形成。
