MKS AX8561臭氧發生器介紹
MKS AX8561臭氧發生器已經被O3CS臭氧緊湊系統替換，O3CS緊湊型臭氧系統使用6級氧氣產生純臭氧，為半導體行業創造高質量薄膜。臭氧與各種前體氣體(如Al2O3, ZrO2, HfO2和La2O3金屬氧化物)反應，使薄膜沉積過程如原子層沉積(ALD)和蝕刻(ALE)。MKS的臭氧發生器電池技術，結合高純度濕潤材料和遠低于其他臭氧發生器所需的摻雜氣體水平，產生超清潔，高濃度臭氧，從而提高薄膜密度和產品收率。
可采用獨立形式或與多達4個通道單元集成到系統機架中，每個單元向設備室輸送精確的臭氧濃度。O3CS臭氧氣體輸送系統采用了MKS現場驗證的模塊化臭氧產生技術、集成臭氧濃度監控器、O2和摻雜氣體種類的流量控制以及電子壓力控制器。
產品特性
?緊湊的臭氧輸送子系統易于與腔室工具集成
?濃度可達20 wt% (300 g/m3)
?流量從0.5到20 slm
?具有冷卻功能的臭氧電池
?全電子控制，包括閉路臭氧濃度控制與集成過程監視器
- O2和摻雜氣體的質量流量控制
-電子壓力控制，在過程點穩定運行
?使用6級氣體制成的高質量薄膜
?可配置的臭氧輸出，以適應特定的工藝步驟，如沉積Al2O3
?清潔、安全，是傳統化學加工的替代方案
參數
型號:O3CS
很大臭氧輸出量*:25 - 225克/小時(取決于配置)
流量范圍:0.5至20 slm(取決于配置)
工作范圍
環境溫度:20 - 40°C(68 - 104°F)
標稱電池壓力(輸送):0.7 - 3.1 bargauge (10 - 45 psig)
控制接口:遠程操作，離散模擬I/O 25 pin D-sub, DeviceNet?，以太網Modbus TCP
原料氣
氧氣:6級或更好的氧氣
氮或二氧化碳:20 - 100 ppm 5級或更好的N2
1000 - 2000 ppm 5級或更好的二氧化碳
冷卻水
溫度:17 - 23°C(63 - 73°F)
過濾:100微米
質量:電阻率≥50 KΩ/cm
很小流量@ 20°C
L/min:0.95 - 7.60 L/min很小(取決于配置)
Gpm:0.40 - 2.00 Gpm很小值(取決于配置)
交流電源
額定:208vac
相:三相GND(無中性點)
安培:額定電流2A - 10A很大(取決于配置)
Hz:50/ 60hz
重量(大約):40公斤(88磅)(取決于配置)
尺寸:(寬×深×高)482 × 429 × 267毫米(19 × 16.89 × 10.5英寸)
符合:SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1, CAN/CSA-61010-1
