臭氧發生器產生臭氧原理工藝流程圖
臭氧發生器產生臭氧需要由空氣或氧氣產生，小型機有一些自帶空氣泵或內置制氧系統，開機即可產生臭氧，中大型臭氧發生器需要另配氣源才可以。下面是帶氣源工藝流程。
臭氧發生器產生臭氧基本流程：
無油空壓機（壓縮空氣）
PSA空氣制氧是通過加壓吸附、常壓解吸從空氣中直接制取氧氣，所以空壓機是提供氣體壓縮的動力源。目前廣泛使用的空壓機主要有螺桿空壓機和活塞空壓機兩大類。
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冷凝系統（冷卻無油空壓機提供的空氣溫度，降低露點）
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精密過濾器、全自動電磁閥（過濾冷凝系統冷卻后的空氣中所產生的水珠，然后經過電磁閥排出）
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干燥裝置（干燥過濾后的氣體）
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將空氣中的氧與氮及其他雜質分離，氧氣純度提升到90%以上
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臭氧發生器單元（高壓放電分解氧氣生成臭氧）
這是簡單的工藝流程，可供參考。
