三菱高濃度臭氧氣體發生系統介紹

三菱高濃度臭氧氣體發生系統介紹

特征：

• 采用氮氣不添加法產生超高濃度臭氧氣體，達到400g/m的超高、行業領先濃度3（北）
• 通過采用不添加氮氣的方法來清潔臭氧氣體（其中氮氧化物的產生限制在其極限*）并保持所需的質量，從而限制金屬污染物的產生，從而使圖案小型化和提高薄膜質量。
  *氮氧化物濃度0.01ppm以下（與之前型號相比為1/10000）
• 獨特的超短間隙放電技術的繼承，具有出色的啟動特性、穩定性和冷卻效率。
• 符合國際標準，符合CE標志和SEMI-S2

H系列 在不使用氮添加劑的情況下產生行業領先的超高濃度臭氧氣體，主要用于半導體和制造工藝。 P系列 僅使用高純度氧氣產生清潔臭氧氣，主要用于半導體和制造工藝，不含氮添加劑。 C系列 產生適用于半導體制造工藝的清潔臭氧氣體 N系列 使用普通氧氣產生高濃度臭氧氣體。主要應用包括半導體制造工藝、化學工藝、食品制造工藝和水處理。

臭氧水生產系統

U系列 制造適用于半導體制造工藝的清潔臭氧水。主要應用包括半導體制造工藝和精密機器零件清洗。

母線粘接機

特征

• 將導線直接粘接到薄板玻璃上。
• 無需加熱、焊接材料或耗材即可形成母線排。
• 接觸電阻低，電性能好。
• 原始技術可以減少對玻璃的損壞。

基本規格

• 引線的自動張力控制。
• 監控系統（制造條件、粘接痕跡）。
• 可更換的吸頭（工具）
• 砧座和固定結構（減少對玻璃的損壞）。

粘接成就

• 玻璃厚度[mm]：0.65~4
• 玻璃的表面材料
• 玻璃原料
• 沉積薄膜（ITO、ZnO、Ag、Cr、Al、Ti、Ni等）
• 平板玻璃尺寸 [mm]
• □100、□300、500 x 1000、600 x 1200 等

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