SEMOZON? AX8585 獨立式臭氧氣體輸送系統(tǒng)是圍繞 AX8410 PRIME 臭氧發(fā)生器設計的，可提供高流量、高濃度、超潔凈的臭氧產(chǎn)生和輸送。這條完全可配置的產(chǎn)品線旨在滿足半導體行業(yè)不斷變化的需求。每個 SEMOZON AX8585 都是一個完全集成的高輸出臭氧氣體輸送系統(tǒng)，旨在用于越來越多的半導體工藝應用，例如 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻膠剝離、晶片清潔、污染物去除和氧化物生長。
特點
完全集成的交付系統(tǒng)可實現(xiàn)快速、輕松的安裝和快速啟動，所需的連接少
支持單個或多個工藝工具，以實現(xiàn)高效率和更低的運營成本
模塊化設計允許每個通道進行過程匹配以獲得大的靈活性
閉環(huán)濃度控制提供更嚴格的過程控制以提高產(chǎn)量
帶有觸摸屏的用戶友好型控制器為與工具連接、設置臭氧濃度和流速以及安全監(jiān)控提供了簡單的中央控制
規(guī)格
類型：臭氧氣體輸送系統(tǒng)
臭氧輸出：375g/Nm 3
流量：每臺發(fā)電機 22.7 lpm (6.0 gpm)
原料氣：氧氣、氮氣（總流量的 100 - 1000 ppm）
原料氣供應壓力：O2 壓力 55 ±2 psig (379 ±13.5 kPa, 3.8 ±0.14 kg/cm 2 ), N2 壓力 60 ±2 psig (413 ±13.5 kPa, 4.12 ±0.14 kg/cm 2 )
原料氣純度：氧氣：6 級或更好的 O2，氮氣：5 級或更好的 N2
工作溫度：5 - 40°C (41 - 104°F)
所需冷卻水溫度：5 - 25°C (41 - 77°F)
需要冷卻水過濾：100微米
所需的冷卻水質(zhì)量：3 - 0.5 MΩcm DI
所需的冷卻水 很小流量：每臺發(fā)電機 22.7 lpm (6.0 gpm)（取決于配置）
需要冷卻水連接：1 英寸壓縮 (Swagelok?)
所需冷卻水熱負荷：每臺發(fā)電機 11 千瓦
電壓要求：208 伏交流電 (±10%)，三相
頻率：50/60 赫茲
排氣流量：每臺發(fā)電機 70.8 l/s (150 cfm)
排氣類型：SEMI 類別 4（危險氣體或蒸氣的意外或緊急釋放）
排氣靜壓： 很小 3.05 毫米（0.16 英寸）H2O，在機柜管道入口處測量
控制氣壓：70 - 100 磅/平方英寸（483 - 689 千帕）
控制空氣類型：CDA 或干燥氮氣，40μ 過濾
控制空氣接頭：0.25 英寸壓縮 (Swagelok?)
排氣連接：8 英寸直徑的管道開口
尺寸：28.4 x 81.7 x 41.4 英寸（722 x 2074 x 1051 毫米）（寬 x 高 x 深）
相對濕度：30 - 90%（非冷凝）
重量：345 kg (760 lb) 用于帶一臺發(fā)電機的系統(tǒng)
遵守：CE、UL/CSA、半 S2、半 F47
高度： 很高高于平均海平面 1000 m (3280 ft)
