SEMOZON? AX8575 多通道臭氧輸送系統(tǒng)，帶機架內(nèi)冷卻器
SEMOZON? AX8575 是一個完全集成的高輸出臭氧氣體輸送系統(tǒng)，可配置為多通道系統(tǒng)，為多達 4 個通道提供臭氧，支持多個腔室或多個工具。它有一個可選的機架內(nèi)冷卻器，用于超高濃度。
? 在更高流速下提供高達 350g/Nm3 的濃度
? 只需少的連接即可實現(xiàn)快速、輕松的安裝和快速啟動
? 模塊化設(shè)計允許每個通道進行過程匹配以獲得 很大的靈活性
? 閉環(huán)濃度控制提供更嚴格的過程控制以提高產(chǎn)量
? 帶有觸摸屏的用戶友好型控制器提供簡單的中央控制，用于與工具、臭氧濃度和流速監(jiān)測以及安全監(jiān)測的接口
? MKS 的、經(jīng)過現(xiàn)場驗證的臭氧發(fā)生技術(shù)在該系統(tǒng)中實施，以確保可靠性
主要優(yōu)勢
? 環(huán)保解決方案可還原為無害 O2，無需進行危險化學(xué)品處理
? 在使用點生成，無需存儲或運輸
? 由于還原電位高，通過減少氧化時間來提高產(chǎn)量
? 支持單個或多個工藝工具，以實現(xiàn) 很高效率和更低的運營成本
參數(shù)
類型：臭氧氣體輸送系統(tǒng)
臭氧輸出：350g/Nm 3
流量：40 平方毫米
原料氣：氧氣、氮氣（總流量的 20 - 100 ppm）
原料氣供應(yīng)壓力：標(biāo)稱50 psig (3.5 kg/cm 2 )， 很大 60 psig (4.2 kg/cm 2 )，N2 壓力比 O2 壓力高 10 psi
原料氣純度： 很低 99.9995%
工作溫度：41 - 104°F (5 - 40°C)
所需冷卻水溫度：12 - 21°C 有冷卻器，5 - 17°C 沒有冷卻器
需要冷卻水過濾：100 微米過濾 PWC（帶冷卻器）
所需的冷卻水質(zhì)量：1 - 3 MOhm DI，注： 很大 DI 水/乙二醇混合物：70/30
所需的冷卻水 很小流量：標(biāo)稱 10 gpm（水調(diào)節(jié)閥范圍：2 - 10 gpm）帶冷卻器，每臺發(fā)電機 2.5 gpm（取決于配置）不帶冷卻器
需要冷卻水連接：1 英寸壓縮 (Swagelok?)
所需冷卻水熱負荷：10 kw（基于兩臺發(fā)電機配置）帶冷水機，每臺發(fā)電機 5 kw 不帶冷水機
電壓要求：208 伏交流電 (±10%)，三相
當(dāng)前要求：31 安培 RMS，50 安培服務(wù)（取決于配置）至少 10,000 AIC，60 安培服務(wù)，帶冷卻器
頻率50/60 赫茲
排氣流量：150 立方英尺/秒（70.8 升/秒）
排氣類型：SEMI 類別 4（危險氣體或蒸氣的意外或緊急釋放）
排氣靜壓： 很小 0.10 英寸（2.54 毫米）H2O，在機柜上的管道法蘭適配器底部測量
控制氣壓：70 - 100 磅/平方英寸
控制空氣類型：CDA 或干燥氮氣，40μm 過濾
控制空氣接頭：1/4 英寸壓縮 (Swagelok?)
排氣連接：6 英寸直徑管道開口或 4 英寸直徑管道開口
尺寸：24 x 75 x 36 英寸（610 毫米 x 1575 毫米 x 914 毫米）（寬 x 高 x 深）
相對濕度：30 - 90%（非冷凝）
重量：600 lbs.(272 kg) 用于配備一臺發(fā)電機的系統(tǒng)，880 lbs.(400 kg) 用于配備四臺發(fā)電機的系統(tǒng)，1100 lbs. (499 kg) 用于帶有兩臺發(fā)電機和內(nèi)部冷卻器的系統(tǒng)
遵守：CE, S2 - 0302, F47
高度：平均海平面以上 3280 英尺（1000 米）
